本发明公开了一种低温液体返灌装置，精馏塔主冷经调节阀连接液氧储槽入口，液氧储槽的出口经第四低温截止阀连接空浴式汽化器，空浴式汽化器的出口连接液氧储槽，液氧储槽的出口还依次经第二低温截止阀和第一低温截止阀连接精馏塔主冷，第二低温截止阀与第一低温截止阀之间连接的真空绝热管上安装有安全阀和第三低温截止阀，液氧储槽与第四低温截止阀的连接管道上安装有第五低温截止阀，液氧储槽的液氧经第五低温截止阀输出。本发明直接将原生产的液氧返罐到精馏塔主冷，可快速满足了建立空分装置开机调纯工况的条件，由于开机时间缩短，也减少了员工操作的劳动强度，且操作简单、经济实用，适用于任何一套大型空气分离装置的开机操作。