一种用于玻璃基板蒸镀的载板装置，包括支撑板，所述支撑板设有个安装孔，吸盘组件分别安装在安装孔中固定，吸盘组件包括吸盘，吸盘位于支撑板的一侧，吸盘底部设有安装套管，安装套管外壁位于吸盘一端设有凸缘，远离吸盘一端设有外螺纹，安装套管插入安装在安装孔内，固定盖安装在安装套管的外螺纹上，安装套管内靠吸盘一端设有凸环，滑塞滑动的安装在安装套管内，滑塞远离吸盘一侧固设有连杆，连杆远离滑塞一端伸出固定盖，连杆上安装有弹簧，弹簧一端抵靠滑塞，另一端抵靠固定盖，使滑塞抵靠凸环形成密封，拉动连杆，吸盘一侧与固定盖一侧贯通。通过吸盘组件，将吸盘一侧朝下按压到玻璃基板上，便方便的将玻璃基板吸附到载板装置上。通过多个吸盘同时吸附玻璃基板，可重复使用，吸附稳定性好，安全性高。