本发明适用半导体技术领域，发明提供了一种防静电工衣清洗工艺，包括刷洗、浸泡、机洗、防静电处理、干燥和抽样性能检测，通过在刷洗、浸泡和机洗中使用不损坏防静电工衣的表面导电纤维的非离子中性洗涤剂，避免了使用过酸或过碱的洗涤剂对防静电工衣表面导电纤维的损坏，另外，通过抽样性能检测，将检测不合格的产品拣出，保证了每批防静电工衣都可以合格出货。