控制金属栅极叠层中平带/阈值电压的方法及其结构

授权公布号：CN100530693C

有效

申请

2006-06-20

申请公布

2006-12-27

授权

2009-08-19

预估到期

2026-06-20

申请号	CN200610093844.0
申请日	2006-06-20
申请公布号	CN1885560A
申请公布日	2006-12-27
授权公布号	CN100530693C
授权公告日	2009-08-19
分类号	H01L29/78;H01L29/51;H01L21/336;H01L21/28;H01L21/314
分类	基本电气元件;
申请人名称	国际商业机器（中国）有限公司
申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区科苑路399号张江创新园10号楼7层

专利法律状态

2012-11-21 专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):H01L29/78；变更事项:专利权人；变更前:国际商业机器公司；变更后:国际商业机器（中国）有限公司；变更事项:地址；变更前:美国纽约阿芒克；变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区科苑路399号张江创新园10号楼7层；登记生效日:20121019

2009-08-19 授权

状态信息

授权

2007-02-14 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效

2006-12-27 公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供一种金属叠层(或栅极叠层)结构，其使材料叠层的平带电压和阈值电压稳定，该材料叠层包括栅极导体和具有大于大约4.0的介电常数的电介质材料、尤其是Hf基电介质。本发明通过把含碱土金属的层引入材料叠层中稳定了平带电压和阈值电压，其通过电负差把阈值电压偏移引向所需电压。具体地，本发明提供了一种材料叠层，包括：高k电介质，优选为铪基电介质；位于所述高k电介质顶部上或其内部的含碱土金属的层；位于所述高k电介质之上的导电盖帽层；以及栅极导体。