授权公布号:CN113667957B
显示面板的传送单元及工艺设备
有效
申请
2021-08-20
申请公布
2021-11-19
授权
2024-03-26
预估到期
2041-08-20
| 申请号 | CN202110960577.7 |
| 申请日 | 2021-08-20 |
| 申请公布号 | CN113667957A |
| 申请公布日 | 2021-11-19 |
| 授权公布号 | CN113667957B |
| 授权公告日 | 2024-03-26 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/24 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 申请人地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |
专利法律状态
2024-03-26
授权
状态信息
授权
2021-11-19
公布
状态信息
公布
摘要
本申请实施例提供了一种显示面板的传送单元及工艺设备,显示面板的传送单元用于在各个工艺单元间传送显示面板的衬底基板,显示面板的传送单元包括缓冲室、加热组件、第一温度探测器及控制器。其中,缓冲室包括第一容纳腔,衬底基板置于第一容纳腔内;加热组件置于第一容纳腔内,且加热组件不与衬底基板接触;第一温度探测器置于第一容纳腔内,第一温度探测器配置为获取第一容纳腔内的温度;控制器与加热组件及第一温度探测器电连接,控制器配置为控制加热组件的开启或关闭,以使第一容纳腔内的温度到达目标温度。


