本公开涉及纳米压印模具。纳米压印模具可以包括衬底基板。衬底基板可以包括主区域和围绕主区域的次区域。主区域可以包括模具结构，并且模具结构可以包括多个第一凹部和多个第一凸部。次区域可以包括栅结构，并且栅结构可以包括多个第二凹部和多个第二凸部。第二凸部中的至少一个的高度大于第一凸部中的至少一个的高度。