本发明公开了一种射频电源的调谐方法，其中射频电源包括频率控制模块、闭环控制器，通过改变射频电源频率，在复数平面中建立相应的曲线；以复数平面中任意一点作为起点，以复数平面的原点或原点附近的一点为终点，并以起点和终点作参考矢量；判断曲线是否为目标曲线，若不是目标曲线，则通过曲线变换得到修正曲线；所述参考矢量将目标曲线或修正曲线分成左右区域；根据目标曲线或修正曲线上的复数值处于左右区域的位置调节射频电源的频率。本发明所提供的射频电源调谐方法计算方式简单高效、并且本方法能够克服现有技术无法对非目标曲线进行频率调节的缺陷，具有更强的适应性。