本发明公开了一种超声波谐振频率的快速跟踪方法及装置，包括：实时检测匹配电路中的电感电压以及输出至换能器负载的输出电压，对检测到的电感电压与输出电压进行线性运算；并根据线性运算结果与初始工作频率生成一个频率调节量，利用所述频率调节量控制所述超声波电源变换器的输出频率对所述初始工作频率进行跟踪调节。本发明通过检测电感电压与输出电压对超声波系统频率进行闭环控制，通过电压运算结果实现对系统的谐振频率点快速跟踪调节跟踪，所需硬件电路简单、软件算法简单高效，能够快速响应负载的频率变化、实时跟踪超声波电源系统谐振频率进行调节。