本实用新型提出了一种平面度检测设备的气路保护系统，属于电气设备技术领域，二位三通电磁阀设置在气压源和接触式气动位移传感器之间，二位五通电磁阀设置在气压源和滑台气缸之间；控制系统控制二位三通电磁阀和二位五通电磁阀的通断；精密泄压阀和压力检测传感器设置在气压源和二位三通电磁阀之间；接触式气动位移传感器的前方安装精密泄压阀和压力检测传感器，结合控制系统控制电磁阀的通断，实现对接触式气动位移传感器进行保护，接触式气动位移传感器和滑台气缸的驱动气压可以精确控制完全一致，测量数据更加准确，避免接触式气动位移传感器损坏。