本发明公开了一种片式无源元件的缺陷检测方法、装置及系统，所述方法包括：将待测片式无源元件以第一脉冲频率接入方波单脉冲电源，通过红外热成像仪对待测片式无源元件各侧面分别进行持续数据采集，并将采集得到的多张彩色温度分布图像进行温度色块处理，直至得到待测元件在各侧面的发热点位置，从而得到待测元件发热点的三维位置。本发明可以使任意尺寸和规格的片式无源元件以特定频率向外部传导热量，令元件的缺陷区域突显出来，且无需破坏元件，克服了以传统检测方法对片式无源元件进行激励时，只能检测到热量从元件内部通过热扩散到表面后，表面温度均匀分布的检测结果的缺点，实现了定位到元件的内部缺陷发热点位置的有益效果。