授权公布号:CN213021506U
高精度线纹标尺精度检测校准系统
有效
申请
2020-10-21
申请公布
1970-01-01
授权
2021-04-20
预估到期
2030-10-21
| 申请号 | CN202022358899.8 |
| 申请日 | 2020-10-21 |
| 授权公布号 | CN213021506U |
| 授权公告日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | G01B21/04;G01B11/00 |
| 分类 | 测量;测试; |
| 申请人名称 | 贵阳新天光电科技有限公司 |
| 申请人地址 | 贵州省贵阳市乌当区新光路9号 |
专利法律状态
2021-04-20
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及计量检测校准技术领域,且公开了一种高精度线纹标尺精度检测校准系统,包括光电显微光学图与线纹检测系统图,所述光电显微光学图包括有光源、聚光镜组、线纹标尺、物镜、分光棱镜、滤色片、分划板、CCD组件、光学扫描装置、狭缝、光电管;所述线纹检测系统图包括有精密级丝杆、接近开关组。该高精度线纹标尺精度检测校准系统,通过设置有物镜、CCD组件与激光干涉仪等达到校准精准的目的,本实用新型发明采用包括高精密丝杆、减速机构、光电显微镜及高清晰CCD组件、精密调节机构、环境空间梯度检测、精密伺服采集控制系统(控制原理框图),其中优化的光电显微镜光路结构,使得本发明专利可以实现更高精度等级的线纹校准。


