本发明公开了一种在金属件微区域上制备含硅防腐涂层的方法，所述方法包括如下步骤：（1）将含硅有机物溶于乙醇溶液中得到前驱体溶液；（2）将金属件清洗后，用滤纸吸干表面水分，浸渍在前驱体溶液中5‑30min后，取出金属件，放置在通风橱中自然干燥，得到金属基底；（3）将金属基底置于等离子体装置中，进行放电处理，得到防腐涂层。本发明可实现金属微区域的防腐镀膜，有效解决精密元件在局部微区域的涂层防腐问题，操作简便，重复性高，适用范围广。