一种OLED的复合柔性衬底结构，自下而上依次包括：高分子有机衬底层、无机缓冲层、VO2相变导热层。无机缓冲层，为氮化硅、氧化硅或氧化铝中的其中一种。无机缓冲层可以修饰高分子有机衬底层表面，为后续成膜提供平坦表面，而且无机膜较致密，可提高衬底的阻隔水氧性能；VO2薄膜具有较低的相变温度（在60‑80℃时，由单斜相转变为四方相），可吸收后续TFT制造过程中释放的热量，而且发生相变后，材料的热导率能够提高60％，进一步将热量沿横向传导至外界，避免最底下的高分子有机衬底受热变形翘曲，同时VO2薄膜较致密，能进一步提高衬底的阻隔水氧性能。