OLED显示装置的制造方法、掩模及掩模的设计方法

授权公布号：CN108695361B

有效

申请

2018-02-26

申请公布

2018-10-23

授权

2023-06-20

预估到期

2038-02-26

申请号	CN201810158926.1
申请日	2018-02-26
申请公布号	CN108695361A
申请公布日	2018-10-23
授权公布号	CN108695361B
授权公告日	2023-06-20
分类号	H10K71/16;C23C14/04
分类	基本电气元件;
申请人名称	天马微电子股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市龙华区民治街道北站社区留仙大道天马大厦1918

专利法律状态

2023-06-20 授权

状态信息

授权

2019-12-06 专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利申请权的转移；IPC(主分类):H01L27/32；登记生效日:20191118；变更事项:申请人；变更前:天马日本株式会社；变更后:天马微电子股份有限公司；变更事项:地址；变更前:日本神奈川县；变更后:广东省深圳市龙华区民治街道北站社区留仙大道天马大厦1918

2019-11-01 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L27/32；申请日:20180226

2018-10-23 公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了OLED显示装置的制造方法、掩模及掩模的设计方法。一种OLED显示装置的制造方法，使具有多个喷嘴的线性源沿第一方向移动的同时，将OLED材料通过掩模蒸镀蒸镀在基板的电极表面上。掩模在面向线性源的表面中具有多个孔。每个孔具有第一开口和位于第一开口和线性源之间的较大的第二开口。满足θT＜90－θM和SX＞D1×tanθM。D1是从第一开口至电极表面的距离。θM是OLED材料的在第一方向上的最大入射角。SX是从第一开口的边缘到相邻的子像素电极的在第一方向上的距离。θT是由连接第一开口的所述边缘和第二开口的边缘的直线与第一方向限定的锥角。