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公司信息商标信息专利信息
授权公布号:CN206470585U
一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统
有效
申请
2017-01-06
申请公布
1970-01-01
授权
2017-09-05
预估到期
2027-01-06
申请号 CN201720014159.8
申请日 2017-01-06
授权公布号 CN206470585U
授权公告日 2017-09-05
分类号 G05B19/05;C23F1/46
分类 控制;调节;
申请人名称 北京彩讯科技股份有限公司
申请人地址 北京市海淀区东北旺西路8号中关村软件园8号楼301室

专利法律状态

2017-09-05 授权
状态信息
授权

摘要

本实用新型涉及一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统,包括:PLC分别与液位传感器、水泵、网路交换机、气体浓度检测主机、温度传感器、流量计、抽风机一、抽风机二电连接,网路交换机分别与气体浓度检测主机、网络摄像机、本地监控电脑和远程监控电脑电连接,气体浓度检测主机分别与气体浓度传感器电连接,蚀刻机与废液收集槽连通,所述废液收集槽与废液收集罐连通,废液收集罐与流量计连通,流量计与调整槽连通,调整槽与电解槽连通,电解槽与再生液罐连通,电解槽还通过抽风机一与废气塔连通,再生液罐与调药罐连通,调药罐与再生子液罐连通,再生子液罐与蚀刻机连通,本实用新型能自动监控;能远程诊断,节约维修时间,减少经济损失。