一种晶元在线监测方法及装置

授权公布号：CN107093568B

一种晶元在线监测方法及装置

失效

申请

2016-02-18

申请公布

2017-08-25

授权

2021-04-09

预估到期

2036-02-18

申请号	CN201610091124.4
申请日	2016-02-18
申请公布号	CN107093568A
申请公布日	2017-08-25
授权公布号	CN107093568B
授权公告日	2021-04-09
分类号	H01L21/67;H01L21/66
分类	基本电气元件;
申请人名称	北大方正集团有限公司
申请人地址	北京市海淀区成府路298号方正大厦9层

专利法律状态

2024-03-01 专利权的终止

状态信息

未缴年费专利权终止；IPC(主分类):H01L21/67；申请日:20160218；授权公告日:20210409

2021-04-09 授权

状态信息

授权

2017-09-19 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/67；申请日:20160218

2017-08-25 公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供的晶元在线监测方法，首先获取多个晶元的多个测试数据，然后根据每个晶元的测试数据的最大值和最小值之差值判断单个晶元是否出现问题，从而对单个晶元进行报警；此外，还根据每个晶元的测试均值是否超出阈值进行报警，用于监测不同晶元之间的异常，从而实现了对单个晶元以及不同晶元之间的在线监测，提高了监测效率和监测精度。此外，该方案中还计算除了多个质量监测参数Cp、Cpu、Cpl、Cpk、Ca，综合监测晶元的质量状况，通过图表直观的进行显示，提供便利的操作方式。