授权公布号:CN213212136U
一种晶圆传送系统
有效
申请
2021-03-19
申请公布
1970-01-01
授权
2021-05-14
预估到期
2031-03-19
| 申请号 | CN202120570589.4 |
| 申请日 | 2021-03-19 |
| 授权公布号 | CN213212136U |
| 授权公告日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | H01L21/677 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 台积电(中国)有限公司 |
| 申请人地址 | 中国台湾新竹市 |
专利法律状态
2021-05-14
授权
状态信息
授权
摘要
本申请公开了一种晶圆传送系统。晶圆传送系统包括:支撑平台;驱动电机,包括输出轴、第一输出轮和第二输出轮;第一输出轮和第二输出轮均与输出轴固定连接;多个传动轮组,包括第一传动轮、第二传动轮和传动轴,第一传动轮和第二传动轮设置于支撑平台两侧,传动轴连接于支撑平台;传送带组,包括第一传送带、第二传送带、第一输出带和第二输出带,相邻的第一传动轮由第一传送带带传动,相邻的第二传动轮由第二传送带带传动,第一输出轮和第一传动轮由第一输出带带传动,第二输出轮和第二传动轮由第二输出带带传动。本申请的通过电机直接驱动传送带组,使得第一传送和第二传送带避免单侧过度磨损,避免单侧打滑造成晶圆倾斜。


