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公司信息专利信息
授权公布号:CN213212136U
一种晶圆传送系统
有效
申请
2021-03-19
申请公布
1970-01-01
授权
2021-05-14
预估到期
2031-03-19
申请号 CN202120570589.4
申请日 2021-03-19
授权公布号 CN213212136U
授权公告日 2021-05-14
分类号 H01L21/677
分类 基本电气元件;
申请人名称 台积电(中国)有限公司
申请人地址 中国台湾新竹市

专利法律状态

2021-05-14 授权
状态信息
授权

摘要

本申请公开了一种晶圆传送系统。晶圆传送系统包括:支撑平台;驱动电机,包括输出轴、第一输出轮和第二输出轮;第一输出轮和第二输出轮均与输出轴固定连接;多个传动轮组,包括第一传动轮、第二传动轮和传动轴,第一传动轮和第二传动轮设置于支撑平台两侧,传动轴连接于支撑平台;传送带组,包括第一传送带、第二传送带、第一输出带和第二输出带,相邻的第一传动轮由第一传送带带传动,相邻的第二传动轮由第二传送带带传动,第一输出轮和第一传动轮由第一输出带带传动,第二输出轮和第二传动轮由第二输出带带传动。本申请的通过电机直接驱动传送带组,使得第一传送和第二传送带避免单侧过度磨损,避免单侧打滑造成晶圆倾斜。