本申请涉及一种晶圆载具的存储装置。本申请实施例的存储装置包括：支撑板，包括沿第一方向连续设置的第一端部、主体部和第二端部；垫块，固定于第一端部的下侧以使支撑板整体倾斜设置，第一端部高于第二端部；止挡块，固定于第二端部的上侧；两个限位板，固定于主体部的上侧并沿第二方向间隔设置，第二方向垂直于第一方向；多个传动组件，设置于两个限位板之间并沿第二方向间隔设置，各传动组件包括沿第一方向布置的多个滚轮，各滚轮可转动地连接于主体部，各滚轮至少部分凸出于主体部的上表面并用于支撑晶圆载具。在各传动组件中，沿靠近第二端部的方向，多个滚轮的高度逐渐降低。