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公司信息专利信息
授权公布号:CN213212125U
夹具及扩散装置
有效
申请
2021-03-23
申请公布
1970-01-01
授权
2021-05-14
预估到期
2031-03-23
申请号 CN202120586247.1
申请日 2021-03-23
授权公布号 CN213212125U
授权公告日 2021-05-14
分类号 H01L21/67;C30B31/14;C30B31/10;C30B29/06;C30B31/16
分类 基本电气元件;
申请人名称 台积电(中国)有限公司
申请人地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号

专利法律状态

2021-05-14 授权
状态信息
授权

摘要

本实用新型涉及夹具及扩散装置。夹具用于装配喷射管和扩散炉,夹具包括,安装座;以及定位部件,设置于安装座上,定位部件包括互相连接的定位件和连接件,定位件成对设置于连接件的两侧,连接件和位于两侧的定位件界定导向槽,导向槽对喷射管导向和定位。根据本实用新型的夹具,可以提高装置的有效运转时间,并且可以防止扩散过程中碰撞产生颗粒等现象,降低硅片的报废概率。