授权公布号:CN213212125U
夹具及扩散装置
有效
申请
2021-03-23
申请公布
1970-01-01
授权
2021-05-14
预估到期
2031-03-23
| 申请号 | CN202120586247.1 |
| 申请日 | 2021-03-23 |
| 授权公布号 | CN213212125U |
| 授权公告日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | H01L21/67;C30B31/14;C30B31/10;C30B29/06;C30B31/16 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 台积电(中国)有限公司 |
| 申请人地址 | 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
专利法律状态
2021-05-14
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及夹具及扩散装置。夹具用于装配喷射管和扩散炉,夹具包括,安装座;以及定位部件,设置于安装座上,定位部件包括互相连接的定位件和连接件,定位件成对设置于连接件的两侧,连接件和位于两侧的定位件界定导向槽,导向槽对喷射管导向和定位。根据本实用新型的夹具,可以提高装置的有效运转时间,并且可以防止扩散过程中碰撞产生颗粒等现象,降低硅片的报废概率。


