授权公布号:CN220154791U
一种曝光装置
有效
申请
2023-05-08
申请公布
1970-01-01
授权
2023-12-08
预估到期
2033-05-08
| 申请号 | CN202321083097.8 |
| 申请日 | 2023-05-08 |
| 授权公布号 | CN220154791U |
| 授权公告日 | 2023-12-08 |
| 分类号 | G03F7/20 |
| 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
| 申请人名称 | 芜湖长信科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 安徽省芜湖市中国(安徽)自由贸易试验区芜湖片区汽经二路以东 |
专利法律状态
2023-12-08
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型属于在半导体产品生产技术领域的曝光装置。灯源(1)前方设置小透镜(2)、小透镜(2)前方设置第一大透镜(3),第一大透镜(3)前方设置第二大透镜(4),第二大透镜(4)前方设置第一复眼(5),第一复眼(5)前方设置第二复眼(6),所述的灯源(1)为LED灯。本实用新型所述的曝光装置,结构简单,能够有效达到过滤不良光线的效果,确保光源的聚集力度保证光强到达生产要求,同时降低制造成本。


