一种显微扫描装置，包含一撷像机构以及一物件驱动机构。撷像机构包含一分光元件、一感光元件、一成像镜、一显微物镜以及一光源。分光元件具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路。光源设置于第三光路上，且光源提供一照明光经由分光元件至物件。其中，照明光沿第三光路以及第二光路到达物件，且影像光沿第二光路以及第一光路到感光元件。物件驱动机构驱动物件移动或转动，以供撷像机构在同轴照明下扫描物件。