本发明公开了一种低羟基超高纯石英砂的制备方法,主要包括选料、煅烧、水淬、酸洗、干燥、酯化、煅烧等工序，其中酸洗步骤中用乙二胺四乙酸和乙酸配制成酸洗液对石英砂进行金属除杂，酯化过程中将石英砂浸泡在含有酸酐的无水乙醚中进行表面羟基酯化反应，然后高温煅烧除去酯基，最终得到二氧化硅含量≥99.990％、羟基含量≤10ppm的超高纯石英砂。