用于太阳能电池片的镀膜工艺的智能排粉控制方法

授权公布号：CN115522177B

有效

申请

2021-07-23

申请公布

2022-12-27

授权

2023-05-09

预估到期

2041-07-23

申请号	CN202110836991.7
申请日	2021-07-23
申请公布号	CN115522177A
申请公布日	2022-12-27
授权公布号	CN115522177B
授权公告日	2023-05-09
分类号	C23C14/54;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/52;H01L31/18;B08B1/00
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	上海汉钟精机股份有限公司
申请人地址	上海市金山区枫泾镇亭枫公路8289号

专利法律状态

2023-09-19 著录事项变更

状态信息

著录事项变更；IPC(主分类):C23C 14/54；专利申请号:2021108369917；变更事项:发明人；变更前:陈峰；变更后:陈峰付娜盛晨艳陈俊宏张世泽

2023-05-09 授权

状态信息

授权

2023-01-13 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C14/54；申请日:20210723

2022-12-27 公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种用于太阳能电池片的镀膜工艺的智能排粉控制方法，该智能排粉控制方法，通过适当安排的运行程序或启停程序，能够以周期性的方式运转真空泵组件，使得当泵体温度逐渐下降时，转子与壳体之间间隙也逐渐减小，从而趁粉尘形成后而尚未完全硬化之前，有效刮除转子与壳体内壁的粉尘，配合现有的惰性气体吹扫，将有助于显著改善粉尘排除效果。