本申请公开一种变频器及其输出电压的控制方法、真空系统的控制方法。其中，变频器输出电压的控制方法，包括以下步骤:在q轴电流增大至第一预定值以上时，将所述变频器的第一目标速度逐渐提升至第二目标速度；其中，所述第一目标速度对应第一负载；所述第二目标速度对应大于第一负载的第二负载；在所述输出电压超过电压设定阈值时，施加d轴电流；所述d轴电流与所述q轴电流相配合使所述输出电压降低至所述变频器的输入电压以下；其中，所述电压设定阈值在所述变频器的输入电压以下。本申请所提供的变频器及其输出电压的控制方法、真空系统的控制方法，其可以较佳的避免变频器失去对包括电机在内的工作单元的控制的情况发生。