本发明提供了一种控制变频器输出电压的方法、装置、设备及真空系统，在一个实施例中，所述控制变频器输出电压的方法包括：获取变频器的电气参数，所述电气参数为变频器的输出电压或者q轴电流；在所述电气参数增大至对应的设定阈值以上时，向变频器加载d轴电流；所述d轴电流与所述q轴电流配合，使得变频器的输出电压不超过其输入电压。本发明实施例的变频器输出电压控制方法、装置、设备及真空系统可以较佳的避免变频器失去对包括电机在内的工作单元的控制的情况发生。