一种Plasma机器均匀性测试方法，其包括如下步骤：步骤一、准备若干测试片，将测试片烘烤后放进干燥皿里冷却至常温后称重并做标记；步骤二、将测试片分别放进覆铜治具板内；步骤三、将覆铜冶具板及若干覆铜假板以一定规律放入于Plasma机器内；步骤四、Plasma机器均匀性测试；步骤五、Plasma做完后，将测试片自覆铜冶具板内拆下，然后将测试片进行烘烤，之后放进干燥皿里进行冷却至常温，再对测试片进行称重；步骤六、结果计算，九个区域的测试结果百分比均需≥70%才算合格。本发明对整个Plasma机器的均匀性及生产产品时的稳定性，进行全方面的评估和监控，从而可确保Plasma机器投入量产时性能稳定、产品质量稳定。