本实用新型公开并提供了一种软硬结合板的等离子体清洗保护装置及方法，本实用新型能很好地保护软硬结合板，防止软硬结合板在等离子体清洗时被破坏。本实用新型包括两块基板，基板上设有通孔区域，在通孔区域内设有与软板相适配的挡板，挡板的两端均连接在通孔区域的孔壁上，在基板上且环绕通孔区域设有若干个定位孔，其中一块基板上的每个定位孔上均设置有空心铆钉，另外一块基板上的定位孔穿过空心铆钉，使得两块基板重叠设置，使用时软硬结合板位于两块基板之间，软硬结合板的硬板通过通孔区域暴露在外部，软硬结合板的软板被两块基板上的挡板完全夹住。本实用新型应用于PCB/FPC生产技术领域的技术领域。