用于部件承载件制造的干燥模块及部件承载件制造设备

授权公布号：CN215216919U

有效

申请

2021-03-18

申请公布

1970-01-01

授权

2021-12-17

预估到期

2031-03-18

申请号	CN202120563634.3
申请日	2021-03-18
授权公布号	CN215216919U
授权公告日	2021-12-17
分类号	F26B9/06;F26B25/00;B08B3/04;H05K3/00
分类	干燥;
申请人名称	奥特斯（中国）有限公司
申请人地址	上海市闵行区莘庄工业区金都路5000号

专利法律状态

2021-12-17 授权

状态信息

授权

摘要

描述了一种用于部件承载件制造的干燥模块（100），其特征在于，干燥模块（100）包括用于对制造时的部件承载件进行干燥的干燥室（101），其中干燥模块被配置成使液体流过干燥室（101），使得液体对来自干燥室（101）的异物（FM）进行结合并去除。此外，还提供了一种包括干燥模块（100）的部件承载件制造设备（200）。