部件承载件及制造部件承载件的方法

授权公布号：CN111508893B

部件承载件及制造部件承载件的方法

有效

申请

2019-01-31

申请公布

2020-08-07

授权

2023-12-15

预估到期

2039-01-31

申请号	CN201910101368.X
申请日	2019-01-31
申请公布号	CN111508893A
申请公布日	2020-08-07
授权公布号	CN111508893B
授权公告日	2023-12-15
分类号	H01L21/768
分类	基本电气元件;
申请人名称	奥特斯（中国）有限公司
申请人地址	上海市闵行区莘庄工业区金都路5000号

专利法律状态

2023-12-15 授权

状态信息

授权

2020-09-01 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L21/768；申请日:20190131

2020-08-07 公布

状态信息

公布

摘要

提供了一种制造部件承载件（130）的方法及一种部件承载件（130）。该方法包括：在电绝缘层结构（102）的顶部上提供导电层结构（100）；通过第一激光束（106）在导电层结构（100）中形成窗口（104）并移除电绝缘层结构（102）在窗口（104）下方的材料；以及随后通过第二激光束（108）移除电绝缘层结构（102）在窗口（104）下方的另外的材料，该第二激光束的大小（D）小于窗口（104）的大小（L）。