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公司信息专利信息
授权公布号:CN214956806U
中介层及包括该中介层的布置装置
有效
申请
2021-03-18
申请公布
1970-01-01
授权
2021-11-30
预估到期
2031-03-18
申请号 CN202120563635.8
申请日 2021-03-18
授权公布号 CN214956806U
授权公告日 2021-11-30
分类号 H01L21/683
分类 基本电气元件;
申请人名称 奥特斯(中国)有限公司
申请人地址 上海市闵行区莘庄工业区金都路5000号

专利法律状态

2021-11-30 授权
状态信息
授权

摘要

一种用于布置在具有用于提供真空力的多个主真空通道(104)的真空抽吸装置(102)与要被处理的部件承载件结构(106)之间的中介层(100),其中,中介层(100)包括用于安装在真空抽吸装置(102)上并用于承载部件承载件结构(106)的中介层板(108),以及形成在中介层板(108)的相对两个主表面之间的次级真空通道(110)的网络(190),并且该次级真空通道(110)的网络(110)被配置成将在中介层板(108)的底部表面(116)处的由真空抽吸装置(102)的主真空通道(104)提供的真空力在空间上重新定向为在中介层板(108)的顶部表面(118)处的经重新定向的真空力模式。还提供了一种包括真空抽吸装置(102)和上述中介层(108)的布置装置(124)。