本发明提供一种硅片清洁装置，包括转盘、传送机构、限位机构、顶板机构以及清洁机构，限位机构包括矩形限位框，限位框设于上料工位工作台上方，限位框上端设有第一驱动装置；顶板机构包括依次连接的弯管接头和支撑块，弯管接头一端与工作台底端固定连接，弯管接头另一端与支撑块固定连接，支撑块为外径与弯管接头外径相同的四分之一圆形结构，支撑块圆心与转盘底端铰接，支撑块上设有第二驱动装置；清洁机构包括风刀、毛刷以及用于固定风刀和毛刷的支架，支架上设有第三驱动装置。本发明提供的一种硅片清洁装置，采用转盘、传送机构、限位机构、顶板机构以及清洁机构将硅片竖直设置并清洁硅片表面，提高清洁质量，保证印刷质量。