授权公布号:CN106887395B
硅片检测装置
有效
申请
2017-04-14
申请公布
2017-06-23
授权
2023-06-20
预估到期
2037-04-14
| 申请号 | CN201710245602.7 |
| 申请日 | 2017-04-14 |
| 申请公布号 | CN106887395A |
| 申请公布日 | 2017-06-23 |
| 授权公布号 | CN106887395B |
| 授权公告日 | 2023-06-20 |
| 分类号 | H01L21/66;H01L21/687 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 申请人地址 | 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号 |
专利法律状态
2023-06-20
授权
状态信息
授权
2017-07-18
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L21/66;申请日:20170414
2017-06-23
公布
状态信息
公布
摘要
本发明涉及太阳能电池片技术领域,尤其是一种硅片检测装置,包括支架,支架上设置有工作台,工作台的上表面通过转轴转动设置有平台,工作台的下表面设置有用于驱动平台转动的电机,平台的上表面设置有左固定板和右固定板,左固定板和右固定板的内侧面均设置有气囊,平台的下表面设置有气泵,气泵与气囊连通,本发明的硅片检测装置通过气囊夹持硅片的窄面,使得硅片不会因为夹持而受到损坏,不影响对硅片正面及背面的观察,通过电机带动平台转动的方式,实现无需人工翻转硅片,即可完成对硅片正面及背面的观察,大大提高检测效率,提高检测的准确率,降低误判率。


