本发明公开了一种基于超薄金属网格的透明电极及其制备方法，涉及透明电极技术领域。该透明电极包括经表面修饰过的柔性透明衬底，所述柔性透明衬底经表面修饰的一面沉积有厚度为1～10nm的导电金属网格层。该透明电极的制备方法是在衬底表面嫁接一层胺基、用光刻或胶体印刷形成掩模板、掩模板间隙沉积1～10nm厚度的金属层、除去掩模板，即得基于超薄金属网格的透明电极。本发明通过降低金属网格的厚度，提高了金属网格的透光率，同时使金属网格在厚度为1～10nm时仍具有较好的导电性，解决了透明电极导电性和透光率“此消彼长”的问题，实现了导电性和透光率二者性能的平衡。