授权公布号:CN106245113B
一种多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片
有效
申请
2016-09-18
申请公布
2016-12-21
授权
2018-10-19
预估到期
2036-09-18
| 申请号 | CN201610828123.3 |
| 申请日 | 2016-09-18 |
| 申请公布号 | CN106245113A |
| 申请公布日 | 2016-12-21 |
| 授权公布号 | CN106245113B |
| 授权公告日 | 2018-10-19 |
| 分类号 | C30B29/06;C30B28/06 |
| 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 申请人名称 | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
| 申请人地址 | 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室 |
专利法律状态
2018-10-19
授权
状态信息
授权
2017-01-18
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/06申请日:20160918
2016-12-21
公布
状态信息
公开
摘要
本发明公开了一种多晶硅锭的制备方法,包括:提供铸锭炉,铸锭炉包括坩埚和隔热笼;在坩埚底部铺设籽晶,籽晶之间留有缝隙,形成籽晶层;在籽晶层上方填装硅料;加热使坩埚底部的温度上升,待籽晶表面开始熔化形成熔融液时,开启隔热笼并提升隔热笼的高度,以降低坩埚底部温度,熔融液填充在籽晶之间的缝隙中并凝固,得到致密的籽晶层,继续加热使硅料熔化形成硅熔体;待硅料熔化后形成的固液界面刚好处在或深入致密的籽晶层时,调节热场形成过冷状态,使硅熔体在籽晶层基础上开始长晶;待全部硅熔体结晶完后,经退火冷却得到多晶硅锭。本发明在致密的籽晶层上形核结晶,可以避免杂质渗透到籽晶中,同时形核容易控制,得到的多晶硅锭质量较好。


