授权公布号:CN106087041B
一种铸锭过程中去除多晶硅杂质的方法
有效
申请
2016-06-17
申请公布
2016-11-09
授权
2018-10-26
预估到期
2036-06-17
| 申请号 | CN201610435587.8 |
| 申请日 | 2016-06-17 |
| 申请公布号 | CN106087041A |
| 申请公布日 | 2016-11-09 |
| 授权公布号 | CN106087041B |
| 授权公告日 | 2018-10-26 |
| 分类号 | C30B28/06;C30B29/06 |
| 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 申请人名称 | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
| 申请人地址 | 江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室 |
专利法律状态
2018-10-26
授权
状态信息
授权
2016-12-07
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):C30B 28/06申请日:20160617
2016-11-09
公布
状态信息
公开
摘要
本发明提供了一种铸锭过程中去除多晶硅杂质的方法,包括以下步骤:(1)提供铸锭炉,铸锭炉中包括坩埚、加热器和隔热笼,在坩埚中填装硅料,加热使硅料全部熔化形成硅液;(2)调节加热器的温度,使坩埚顶部的温度降低至硅熔点附近,然后保温2‑5h;(3)保温结束后,开启隔热笼并提升隔热笼的高度,以降低坩埚底部温度,使坩埚底部的硅液以第一长晶速度进行长晶,第一长晶速度为2‑3cm/h;(4)长晶1‑2h后,降低隔热笼的高度,使硅液以第二长晶速度继续长晶,第二长晶速度为1‑2cm/h且第二长晶速度小于第一长晶速度,待全部硅液结晶完后,经退火冷却得到多晶硅。本发明提供的方法,在硅料熔化后进行保温,然后进行快速形核结晶,提纯效率高,提纯成本较低。


