授权公布号:CN217579139U
单晶炉连续拉晶设备
有效
申请
2022-03-18
申请公布
1970-01-01
授权
2022-10-14
预估到期
2032-03-18
| 申请号 | CN202220604982.5 |
| 申请日 | 2022-03-18 |
| 授权公布号 | CN217579139U |
| 授权公告日 | 2022-10-14 |
| 分类号 | C30B15/00;C30B29/06 |
| 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 申请人名称 | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号 |
专利法律状态
2022-10-14
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及单晶硅生产技术领域,公开了一种单晶炉连续拉晶设备,该设备包括石英外埚、石英内埚、加热机构、加料机构以及拉晶机构;其中,加料机构用于向石英外埚的腔体中输送固态硅散料;加热机构用于对石英外埚的底部进行加热,以令固态硅散料转化成液态硅;石英内埚具有一个开孔,开孔沿竖直方向贯穿石英内埚;在水平方向上:石英内埚位于石英外埚的腔体的中部;在竖直方向上:石英内埚的顶部位于液态硅的液面之上,石英内埚的底部位于液态硅的液面之下,且石英内埚的底部与石英外埚的底部之间存在间隙;拉晶机构包括软轴,软轴用于与液面接触以形成硅晶体,且软轴在石英内埚上的正投影被开孔完全覆盖。


