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公司信息商标信息专利信息
授权公布号:CN211546715U
一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉
有效
申请
2019-10-24
申请公布
1970-01-01
授权
2020-09-22
预估到期
2029-10-24
申请号 CN201921802643.2
申请日 2019-10-24
授权公布号 CN211546715U
授权公告日 2020-09-22
分类号 C30B15/14;C30B29/06
分类 晶体生长〔3〕;
申请人名称 北京京运通科技股份有限公司
申请人地址 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

专利法律状态

2020-09-22 授权
状态信息
授权

摘要

本实用新型涉及直拉单晶硅技术领域,公开了一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉,该直拉单晶硅用加热器包括圆筒状的主发热体,主发热体的筒体上设置有沿周向交替分布的第一缝隙和第二缝隙,第一缝隙与第二缝隙均沿主发热体的轴心线方向延伸,且第一缝隙的开口朝向与第二缝隙的开口朝向相反,第一缝隙和第二缝隙将主发热体分成多根依次串联的发热条,第一缝隙和第二缝隙的中间区域的宽度小于两端的宽度,以使每根发热条中间区域的宽度大于其两端的宽度。该直拉单晶硅用加热器能降低纵向的温度梯度,进而降低直拉单晶硅中的氧含量,达到减弱直拉单晶硅氧施主效应的目的。