授权公布号:CN211546715U
一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉
有效
申请
2019-10-24
申请公布
1970-01-01
授权
2020-09-22
预估到期
2029-10-24
| 申请号 | CN201921802643.2 |
| 申请日 | 2019-10-24 |
| 授权公布号 | CN211546715U |
| 授权公告日 | 2020-09-22 |
| 分类号 | C30B15/14;C30B29/06 |
| 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 申请人名称 | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号 |
专利法律状态
2020-09-22
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及直拉单晶硅技术领域,公开了一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉,该直拉单晶硅用加热器包括圆筒状的主发热体,主发热体的筒体上设置有沿周向交替分布的第一缝隙和第二缝隙,第一缝隙与第二缝隙均沿主发热体的轴心线方向延伸,且第一缝隙的开口朝向与第二缝隙的开口朝向相反,第一缝隙和第二缝隙将主发热体分成多根依次串联的发热条,第一缝隙和第二缝隙的中间区域的宽度小于两端的宽度,以使每根发热条中间区域的宽度大于其两端的宽度。该直拉单晶硅用加热器能降低纵向的温度梯度,进而降低直拉单晶硅中的氧含量,达到减弱直拉单晶硅氧施主效应的目的。


