授权公布号:CN218372622U
一种新型碳化硅生长炉
有效
申请
2022-04-01
申请公布
1970-01-01
授权
2023-01-24
预估到期
2032-04-01
| 申请号 | CN202220757529.8 |
| 申请日 | 2022-04-01 |
| 授权公布号 | CN218372622U |
| 授权公告日 | 2023-01-24 |
| 分类号 | C30B29/36;C30B35/00 |
| 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 申请人名称 | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号 |
专利法律状态
2023-01-24
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及生长炉技术领域,特别涉及一种新型碳化硅生长炉,包括:平台、回转机构、立柱、炉体组件、提升机构,所述立柱通过所述回转机构安装于所述平台,所述提升机构设置于所述立柱,所述炉体组件包括沿所述立柱轴线方向依次设置的炉盖、炉膛和炉底盘,所述炉盖与所述炉膛之间可拆卸,所述炉膛与所述炉底盘之间可拆卸,所述回转机构用于驱动所述炉体组件围绕所述立柱轴线的周向旋转,工作人员能够根据需求,将炉盖或炉膛进行提升,在回转系统的作用下,能够通过立柱带动炉盖或炉膛进行旋转,进而使其远离炉底盘,便于对炉底盘进行检修,上述检修的过程简单快捷。


