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公司信息商标信息专利信息
授权公布号:CN218372622U
一种新型碳化硅生长炉
有效
申请
2022-04-01
申请公布
1970-01-01
授权
2023-01-24
预估到期
2032-04-01
申请号 CN202220757529.8
申请日 2022-04-01
授权公布号 CN218372622U
授权公告日 2023-01-24
分类号 C30B29/36;C30B35/00
分类 晶体生长〔3〕;
申请人名称 北京京运通科技股份有限公司
申请人地址 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

专利法律状态

2023-01-24 授权
状态信息
授权

摘要

本实用新型涉及生长炉技术领域,特别涉及一种新型碳化硅生长炉,包括:平台、回转机构、立柱、炉体组件、提升机构,所述立柱通过所述回转机构安装于所述平台,所述提升机构设置于所述立柱,所述炉体组件包括沿所述立柱轴线方向依次设置的炉盖、炉膛和炉底盘,所述炉盖与所述炉膛之间可拆卸,所述炉膛与所述炉底盘之间可拆卸,所述回转机构用于驱动所述炉体组件围绕所述立柱轴线的周向旋转,工作人员能够根据需求,将炉盖或炉膛进行提升,在回转系统的作用下,能够通过立柱带动炉盖或炉膛进行旋转,进而使其远离炉底盘,便于对炉底盘进行检修,上述检修的过程简单快捷。