授权公布号:CN211545965U
一种碳化硅生产设备
有效
申请
2019-10-23
申请公布
1970-01-01
授权
2020-09-22
预估到期
2029-10-23
| 申请号 | CN201921791855.5 |
| 申请日 | 2019-10-23 |
| 授权公布号 | CN211545965U |
| 授权公告日 | 2020-09-22 |
| 分类号 | C01B32/956 |
| 分类 | 无机化学; |
| 申请人名称 | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号 |
专利法律状态
2020-09-22
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及半导体材料SiC的生产设备技术领域,公开了一种碳化硅生产设备,包括:炉体,炉体内设有用于放置坩埚的容置空间;套设于炉体外周侧的加热线圈;与加热线圈连接、且用于驱动加热线圈沿其中心轴线的延伸方向动作的驱动装置。该碳化硅生产设备中,加热线圈在驱动装置的驱动下可以在炉体外周侧上下移动,并对炉体进行加热,使炉体内的碳化硅在长晶过程中在竖直方向形成更好的温度梯度,有利于提高成晶率,提高晶体品质。


