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公司信息商标信息专利信息
授权公布号:CN211545965U
一种碳化硅生产设备
有效
申请
2019-10-23
申请公布
1970-01-01
授权
2020-09-22
预估到期
2029-10-23
申请号 CN201921791855.5
申请日 2019-10-23
授权公布号 CN211545965U
授权公告日 2020-09-22
分类号 C01B32/956
分类 无机化学;
申请人名称 北京京运通科技股份有限公司
申请人地址 北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

专利法律状态

2020-09-22 授权
状态信息
授权

摘要

本实用新型涉及半导体材料SiC的生产设备技术领域,公开了一种碳化硅生产设备,包括:炉体,炉体内设有用于放置坩埚的容置空间;套设于炉体外周侧的加热线圈;与加热线圈连接、且用于驱动加热线圈沿其中心轴线的延伸方向动作的驱动装置。该碳化硅生产设备中,加热线圈在驱动装置的驱动下可以在炉体外周侧上下移动,并对炉体进行加热,使炉体内的碳化硅在长晶过程中在竖直方向形成更好的温度梯度,有利于提高成晶率,提高晶体品质。