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授权公布号:CN109825741B
一种Ni基金属触媒及其利用触媒制备IC芯片抛光垫修整用特种金刚石的方法
有效
申请
2019-03-25
申请公布
2019-05-31
授权
2021-01-22
预估到期
2039-03-25
申请号 CN201910226816.9
申请日 2019-03-25
申请公布号 CN109825741A
申请公布日 2019-05-31
授权公布号 CN109825741B
授权公告日 2021-01-22
分类号 C22C19/03;
分类 冶金;黑色或有色金属合金;合金或有色金属的处理;
申请人名称 河南省力量钻石股份有限公司
申请人地址 河南省商丘市柘城县产业聚集区广州路8号

专利法律状态

2021-01-22 授权
状态信息
授权
2019-06-25 实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效
2019-05-31 公布
状态信息
公布

摘要

本发明公开了一种Ni基金属触媒及其利用触媒制备IC芯片抛光垫修整用特种金刚石的方法。该金属触媒是由Co、Fe、Al、La、Cu、B4C和镍制备而成。将金属触媒和高纯石墨依次进行三维混合、等静压成型、造粒和压制成圆柱状合成柱,合成柱经高真空还原处理后组装成合成块;将合成块烘烤后放入高温压机中进行高温高压合成金刚石,所得特种金刚石合成块经电解、提纯处理,得到IC芯片抛光垫修整用尖锥状特种金刚石。利用本发明合成出的含有尖锥晶型的金刚石,晶型一致、晶面完整、颜色黄、热冲值高;可有效满足IC芯片超精抛光加工的要求,大幅提高了IC芯片的加工效率和加工质量。