授权公布号:CN111286706B
双室三工位多靶共溅磁控溅射镀膜方法
有效
申请
2018-12-06
申请公布
2020-06-16
授权
2022-05-03
预估到期
2038-12-06
| 申请号 | CN201811489707.8 |
| 申请日 | 2018-12-06 |
| 申请公布号 | CN111286706A |
| 申请公布日 | 2020-06-16 |
| 授权公布号 | CN111286706B |
| 授权公告日 | 2022-05-03 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/56 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 北京华业阳光新能源有限公司 |
| 申请人地址 | 北京市海淀区成府路45号智造大街A座305 |
专利法律状态
2022-05-03
授权
状态信息
授权
2020-06-16
公布
状态信息
公布
摘要
本发明提供一种双室三工位多靶共溅磁控溅射镀膜方法,具有第一镀膜室、第二镀膜室、室外装卸工位以及集热管小车,所述第一镀膜室的真空腔体内设有若干根直流磁控溅射靶,所述第二镀膜室设有数根直流磁控溅射靶与数根中频磁控溅射靶;通过在第一镀膜室完成红外反射涂层镀膜工艺,在第二镀膜室完成选择性吸收涂层镀膜工艺,周而复始地高效完成镀膜工作;在工作过程中,第二镀膜室始终保持真空,而第一镀膜室在破真空时使用干燥空气来填充,有效避免了湿空气、污染物影响镀膜质量。


