授权公布号:CN209493624U
双室三工位多靶共溅磁控溅射镀膜设备
有效
申请
2018-12-06
申请公布
1970-01-01
授权
2019-10-15
预估到期
2028-12-06
| 申请号 | CN201822048032.5 |
| 申请日 | 2018-12-06 |
| 授权公布号 | CN209493624U |
| 授权公告日 | 2019-10-15 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/56 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 北京华业阳光新能源有限公司 |
| 申请人地址 | 北京市海淀区成府路45号智造大街A座305 |
专利法律状态
2019-10-15
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型提供一种双室三工位多靶共溅磁控溅射镀膜设备,是在第一镀膜室、第二镀膜室以及室外装卸工位中都布置有拨盘、轨道以及集热管小车,第一镀膜室布置有直流磁控溅射靶,第二镀膜室同时布置有直流磁控溅射靶与中频磁控溅射靶,在第一镀膜室与第二镀膜室之间设置真空通道,第一镀膜室与室外装卸工位之间设置连接通道。使用的时候,第一镀膜室一方面作为过渡室使用,用于在第二镀膜室以及室外装卸工位之间交换集热管小车,另一方面可以完成金属红外反射涂层镀膜,而第二镀膜室可以一直保持在真空状态,并完成选择性吸收涂层镀膜以及减反层镀膜,如此周转使用,能够减小设备规模的前提下,尽量提高生产效率与镀膜质量。


