本发明涉及陶瓷领域，且特别涉及一种高热稳定性的电热陶瓷及其制备工艺。本发明将氟化钇、Y4Al2O9、硅溶胶三者共同作为烧结助剂，其中二氧化硅能够填补碳化硅颗粒间的缝隙，但是二氧化硅导热性差；Y4Al2O9能够和二氧化硅形成导热性更佳的Y2Si2O7，但是其会侵蚀碳化硅；而氟化钇正好能够抑制Y4Al2O9对碳化硅的侵蚀，因此，采用氟化钇、Y4Al2O9、硅溶胶作为碳化硅陶瓷的烧结助剂，不仅增加了陶瓷的密度，也生成了具有较好导热性的第二相Y2Si2O7，从而得到了导热性能优异的多相碳化硅陶瓷。陶瓷基体的热导率越高，其热传递速率越快，那么热能在陶瓷基体上的消耗越少，从而还提高了其电‑热转换率，得到了一款具有高热导率、高电‑热转换率的高热稳定性的电热陶瓷。