授权公布号:CN203807550U
磁控溅射圆柱靶的靶芯结构
有效
申请
2014-05-09
申请公布
1970-01-01
授权
2014-09-03
预估到期
2024-05-09
| 申请号 | CN201420236523.1 |
| 申请日 | 2014-05-09 |
| 授权公布号 | CN203807550U |
| 授权公告日 | 2014-09-03 |
| 分类号 | C23C14/35 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 山东亿家能太阳能有限公司 |
| 申请人地址 | 山东省德州市湖滨北路175号 |
专利法律状态
2014-09-03
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开了一种磁控溅射圆柱靶的靶芯结构,它是真空镀膜技术中磁控溅射镀圆柱靶的核心部分,它在靶管内部,在芯铁上面安装有多条长条形强磁钢,两个端部装有两条弱磁钢,芯铁外面有封闭的不锈钢罩隔水装置,防止磁钢浸在水里,这样可以延长磁钢的使用寿命,节约磁钢,解决了磁控溅射圆柱靶的靶材两端溅射后出现凹槽的缺陷,使靶材的利用率提高一倍。它解决了磁控溅射圆柱靶使用中磁钢使用寿命短,靶材利用率低的两个技术难题。


