授权公布号:CN111470470B
一种磁通门芯片的制备方法
有效
申请
2020-06-08
申请公布
2020-07-31
授权
2023-03-28
预估到期
2040-06-08
| 申请号 | CN202010509797.3 |
| 申请日 | 2020-06-08 |
| 申请公布号 | CN111470470A |
| 申请公布日 | 2020-07-31 |
| 授权公布号 | CN111470470B |
| 授权公告日 | 2023-03-28 |
| 分类号 | B81C1/00;B81C3/00;G01R33/04 |
| 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 申请人名称 | 宁波中车时代传感技术有限公司 |
| 申请人地址 | 浙江省宁波市江北区振甬路138号 |
专利法律状态
2023-03-28
授权
状态信息
授权
2020-07-31
公布
状态信息
公布
摘要
本发明提供了一种磁通门芯片的制备方法,属于磁通门传感器技术领域,包括:首先选取两片高阻硅片,其中一片表面电镀铁磁芯,另一片表面开设铁磁芯腔,然后两片高阻硅片上下键合,接着在两片高阻硅片的相对一侧表面分别开设线圈槽、通槽以及电极窗口,形成硅片模具,最后在硅片模具表面填充合金。本发明提供的一种磁通门芯片的制备方法,通过电镀,后键合,最后刻蚀,一方面,使得形成的磁通门芯片的厚度较薄,并满足足够的强度,另一方面能够实现磁通门芯片的大规模批量生产,提高工作效率,降低生产成本。


