纳米多层复合膜及其制备方法

公司信息商标信息专利信息

授权公布号：CN103668062B

纳米多层复合膜及其制备方法

有效

申请

2013-12-25

申请公布

2014-03-26

授权

2016-08-17

预估到期

2033-12-25

申请号	CN201310728915.X
申请日	2013-12-25
申请公布号	CN103668062A
申请公布日	2014-03-26
授权公布号	CN103668062B
授权公告日	2016-08-17
分类号	C23C14/06;C23C14/32
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	大连远东工具有限公司
申请人地址	辽宁省大连市甘井子区大连湾振兴路218号

专利法律状态

2023-11-03 专利权的保全及其解除

状态信息

专利权保全的解除；IPC(主分类):C23C 14/06；专利号:ZL201310728915X；申请日:20131225；授权公告日:20160817；登记生效日:；解除日:20230914

2023-11-03 专利权的保全及其解除

状态信息

专利权的保全；IPC(主分类):C23C 14/06；专利号:ZL201310728915X；申请日:20131225；授权公告日:20160817；登记生效日:20230914；解除日:

2020-10-27 专利权的保全及其解除

状态信息

专利权的保全；IPC(主分类):C23C14/06；申请日:20131225；授权公告日:20160817；登记生效日:20200914

2016-08-17 授权

状态信息

授权

2014-04-23 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C14/06；申请日:20131225

2014-03-26 公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供一种纳米多层复合膜及其制备方法。本发明纳米多层复合膜包括顺次设置的Ti层、复合层和TiN表层，所述复合层包括交替设置Ti<sub>2</sub>N+TiN层和TiN层。本发明还公开了纳米多层复合膜的制备方法包括以下步骤：首先在基体表面沉积Ti层；然后在Ti层背离基体的一侧沉积复合层；最后在复合层上沉积TiN表层；其中，所述复合层通过交替沉积Ti<sub>2</sub>N+TiN层和TiN层制备而成。本发明纳米多层复合膜兼具硬度高和制造成本低廉的优点。