授权公布号:CN115323339B
一种工装及物理气相沉积设备
有效
申请
2022-08-01
申请公布
2022-11-11
授权
2023-12-05
预估到期
2042-08-01
| 申请号 | CN202210916712.2 |
| 申请日 | 2022-08-01 |
| 申请公布号 | CN115323339A |
| 申请公布日 | 2022-11-11 |
| 授权公布号 | CN115323339B |
| 授权公告日 | 2023-12-05 |
| 分类号 | C23C14/50 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 厦门金鹭特种合金有限公司 |
| 申请人地址 | 福建省厦门市湖里区兴隆路69号 |
专利法律状态
2023-12-05
授权
状态信息
授权
2022-11-29
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/50;申请日:20220801
2022-11-11
公布
状态信息
公布
摘要
本发明公开了一种工装,包括工装单元和底盘,工装单元包括拨轮和传动机构,拨轮上设有多个安装件,传动机构与拨轮转动连接,传动机构用于带动安装件自转;底盘上设有多个工装单元。本发明中通过设置多个安装件,能够实现产品的安装,能够有效提高产品安装数量,提高单次镀膜产品数量,减小生产成本;通过设置传动机构,能够带动安装件自转,底盘安装到物理气相沉积设备后能够实现围绕物理气相沉积设备中心的公转、围绕工装中心的自转、围绕拨轮中心固定角度自转和安装件自转,能够使产品的涂层均匀性显著提升。


