一种氧化铝复合涂层、其制备方法以及切削装置

授权公布号：CN114875379B

有效

申请

2022-04-29

申请公布

2022-08-09

授权

2023-09-29

预估到期

2042-04-29

申请号	CN202210476190.9
申请日	2022-04-29
申请公布号	CN114875379A
申请公布日	2022-08-09
授权公布号	CN114875379B
授权公告日	2023-09-29
分类号	C23C16/36;C23C16/40;C23C16/52;C23C16/30
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	厦门金鹭特种合金有限公司
申请人地址	福建省厦门市湖里区兴隆路69号

专利法律状态

2023-09-29 授权

状态信息

授权

2022-08-26 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C16/36；申请日:20220429

2022-08-09 公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种氧化铝复合涂层、其制备方法以及切削装置，所述氧化铝复合涂层包括层叠设置的TA层与α‑Al2O3层，其制备方法在化学气相沉积TA层时，控制CH3CN与CH4的用量比例≥0.5，AlCl3与TiCl4的用量比例AlCl3/TiCl4≤1.1；在化学气相沉积α‑Al2O3层时，控制CO2与AlCl3的用量比例为1‑2.5，CO2与HCl的用量比例为1‑2。通过上述条件的控制，本发明所得α‑Al2O3的织构系数TC（1 0 10）≥3，使其具有（1 0 10）的晶面择优；包括所述氧化铝复合涂层的切削装置具有优良的耐热性能、韧性与抗崩缺性能。