本实用新型提供的一种真空泵装置，属于含杂质气体净化技术领域。真空泵装置包括：相互连接的除尘罐和水环真空泵，水环真空泵包括进气口和出气口，除尘罐包括气体进口管，除尘罐通过第一连接管与水环真空泵进气口连接，含杂质气体通过气体进口管进入除尘罐，经过除尘罐过滤后的气体由进气口进入水环真空泵。本实用新型能够清理废气中的物料，避免气泵叶轮被粘连，减少停机清理频率，提高生产效率。