授权公布号:CN105256284B
环保铝镜真空镀膜设备
有效
申请
2015-11-17
申请公布
2016-01-20
授权
2018-08-28
预估到期
2035-11-17
| 申请号 | CN201510789299.8 |
| 申请日 | 2015-11-17 |
| 申请公布号 | CN105256284A |
| 申请公布日 | 2016-01-20 |
| 授权公布号 | CN105256284B |
| 授权公告日 | 2018-08-28 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/02;C23C14/18 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 申请人地址 | 广东省肇庆市端州大道 |
专利法律状态
2018-08-28
授权
状态信息
授权
2016-02-17
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20151117
2016-01-20
公布
状态信息
公开
摘要
本发明公开一种环保铝镜真空镀膜设备,包括依次连接的进片台、多个真空室和出片台,多个真空室包括依次连接的前粗抽室、前精抽室、清洗室、第一过渡室、第一镀膜室、第二过渡室、第二镀膜室、后精抽室和后粗抽室,进片台上、各个真空室内和出片台上通过传动辊进行工件输送;清洗室内设置中频离子源组件,第一镀膜室内和第二镀膜室内均设置高效溅射旋转靶组件。本环保铝镜真空镀膜设备采用中频离子源对玻璃工件进行清洗,可有效去除传统工艺无法去除的有机物,提高铝膜在玻璃表面的附着力,提高铝镜的反射率。其旋转靶采用带有5路磁铁的高效溅射旋转靶,可达到提高靶材的利用率,同时使设备结构得到简化,降低设备成本和产品加工成本。


